Modalità
Quota |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1300 | JTL-1600 |
Φ9001000mm | Φ11001000mm | Φ13001200 mm | Φ16001200 mm | |
Modalità di rivestimento e conferma principale |
3 arco elettrico+2 coppie di catodo piano rettangolare | 6 arco elettrico+2 coppie di catodo cilindrico | 5 arco elettrico+4 coppie di catodo cilindrico | 6 arco elettrico+8 coppie di catodo cilindrico |
Tipi di pellicola | Film metallici, film dielettrici, film composti, film di reazione, film funzionali a strato Muti | |||
Alimentazione | Alimentazione elettrica ad arco, alimentazione a magnetron CC, alimentazione a magnetron MF, alimentazione a tensione di polarizzazione a impulsi, alimentazione a sorgente di ioni. | |||
Controllo del gas di processo | Flussometro di qualità + elettromagnetismo valvola ceramica | |||
Struttura della camera a vuoto | Sportello singolo (laterale) verticale, postposizione impianto pompa, doppio raffreddamento ad acqua | |||
Sistema a vuoto | Pompa molecolare (pompa a diffusione)+pompa radice +pompa meccanica (8.0*10-4Pa) | |||
Velocità di pompaggio | Tempo di pompaggio inferiore a 15 minuti, dalla pressione atmosferica a. 310 -3 Pa | |||
Modalità di movimento del pezzo | Rotazione pubblica controllo di frequenza: 0-20 rotazioni al minuto | |||
Modalità di misurazione | Vacuometro composito con display numerico: Da atmosfera a 1.0*10-5Pa | |||
Modalità di controllo | Sistema di controllo completo per automazione PC+PLC/PC+HMI | |||
Nota | Possiamo progettare la dimensione dell'attrezzatura in base alle esigenze tecniche specifiche dei clienti. |