Konfiguration
|
CCZK-1012-ION |
CCZK-1416-ION |
CCZK-1618-ION |
CCZK-1820-ION |
CCZK-2023-ION |
CCZK-2030-ION |
CCZK-2235-ION |
Kammergröße (MM) |
D1000*H2000 |
D1400*H1600 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2200 |
D2000*H3000 |
D2200*H3500 |
Vakuumsystem |
Diffusionspumpe/Molekularpumpe + Wurzelpumpe + Doppelstufige Direktpumpe Drehpumpe für Fahrer + Haltepumpe + Kryogenpumpe (optional) |
||||||
Bogen
|
7th Generation
|
7th Generation 12sets |
7th Generation 16sets |
7th Generation 20sets |
7th Generation 24sets |
7th Generation 28sets |
7th Generation 36sets |
Bogenquelle |
7th Generation 10sets |
7th Generation 12sets |
7th Generation 16sets |
7th Generation 20sets |
7th Generation 24sets |
7th Generation 28sets |
7th Generation 36sets |
Bias
|
20KW |
30KW |
40KW |
40KW |
50KW |
60KW |
80KW |
Gas
|
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
4-Wege-Ansaugsystem |
Backsystem |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Bis zu 350C |
Steuerungssystem |
IPC + PLC + HMI Vollautomatische + Fernsteuerungssystem (Optional) |
||||||
Ultimatives Vakuum |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
5,0*10-4PA |
Gesamtleistung |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
Beschichtung Zykluszeit |
Etwa 15 bis 50 Minuten pro Zyklus (Je nach Schichtschicht der Beschichtung Produkte) |
||||||
Größe des Lieferbehälters |
1set 20GP |
1set 20GP |
1set 20GP |
1set 40HQ |
1set 40HQ |
1set 20FR 1set 40GP |
1set 20FR 2sets 40HQ |
Installationszeit des Geräts |
7days (1engineer) |
7days (1engineer) |
7days (1engineer) |
10days (2engineers) |
10days (2engineers) |
15days (2engineers) |
20days (2engineers) |
Angepasst
Größe
|
Angepasst |