|
Modus
Abmessungen |
LH-800 | LH-1250 | LH-1416 | LH-1618 |
| 800*1000mm | 1200*1500mm | 1400*1600mm | 1600*1800mm | |
| Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
Acht Ziele mit mehreren Kreisbögen |
Zwölf Ziele mit mehreren Lichtbögen |
Vierzehn Ziele mit mehreren Kreisbögen |
Zwanzig Ziele mit mehreren Kreisbögen |
| Stromversorgung | Lichtbogenleistung, Filamentleistung, Impulsvorspannung | |||
| Prozessgassteuerung | Masse-Durchflussmesser + elektromagnetisches Keramikventil | |||
| Vakuumkammer-Struktur |
Vertikale Tür zur seitlichen Öffnung, Postposition des Pumpensystems, doppelte Wasserkühlung |
|||
| Vakuumsystem |
Molekülpumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -5 Pa)
Diffusionspumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -4 Pa) |
|||
| Temperatur Werkstückauflauf |
Normale Temperatur bis 350 Grad PID-Regelung, Strahlungsheizung. |
|||
| Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation Frequenzregelung: 0-20 Umdrehungen pro Minute | |||
| Messmodus | Zahlenanzeige Composite-Vakuummeter: Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa | |||
| Steuerungsmodus | Manuell/automatisch/PC/SPS + HMI/PC vier verschiedene Steuerungsmodi | |||
| Anmerkung | Wir können die Abmessungen der Ausrüstung nach den speziellen technischen Anforderungen des Kunden entwerfen. | |||
Weitere Informationen über unsere Vakuumbeschichtungsmaschine, pls zögern Sie nicht, Kontakt aufzunehmen:
Kontaktperson : Mandy Liu