Modus
Abmessungen |
JTL-900
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JTL-1100
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JTL-1300
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JTL-1600
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φ 900*1000mm
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φ 1100*1000mm
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φ 1300*1200 mm
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φ 1600*1300 mm
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Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
3 Lichtbogen + 2 Paar flache rechteckige Kathode
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6 Lichtbogen+2 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode
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6 Lichtbogen+4 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode
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8 Lichtbogen+8 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode
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Anwendung
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Dekorative Metallbeschichtung
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Filmtypen
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Metallfolien , Dielektrikum-Folien , Verbundfolien , Reaktionsfolien , Muti-Layer -Funktionsfilme
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Stromversorgung
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Lichtbogenstromversorgung , DC Magnetron Stromversorgung , MF Magnetron Stromversorgung . Impulsvorspannung Stromversorgung . Ionenquelle Stromversorgung .
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Prozessgassteuerung
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Qualitäts -Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil
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Vakuumkammer-Struktur
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Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems , doppelte Wasserkühlung
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Vakuumsystem
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Molekülpumpe (Diffusionspumpe )+Roots -Pumpe +Mechanische Pumpe (8,0*10 -4 Pa)
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Pumpgeschwindigkeit
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Pumpzeit weniger als 15 Minuten , von atmosphärischem Druck bis 310 -3 Pa
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Temperatur Werkstückauflauf
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Normale Temperatur bis 350 Grad PID -Regelung, Strahlungsheizung . |
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Bewegungsmodus Werkstück
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Öffentliche Rotation Frequenzregelung : 0-20 Umdrehungen pro Minute
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Messmodus
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Zahlenanzeige Composite -Vakuummeter : Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa
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Steuerungsmodus
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Vollautomatische Steuerung PC+PLC/PC+HMI
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Anmerkung
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Wir können die Dimension der Ausrüstung nach Kunden spezielle Technik Anforderung zu entwerfen.
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