Modus Abmessungen |
LH-800 |
LH-1250 |
LH-1416 |
LH-1618 |
800*1000mm |
1200*1500mm |
1400*1600mm |
1600*1800mm |
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Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
Acht Ziele mit mehreren Kreisbögen | Zwölf Ziele mit mehreren Lichtbögen |
Vierzehn
Ziele mit mehreren Kreisbögen |
Zwanzig
Ziele mit mehreren Kreisbögen |
Stromversorgung |
Lichtbogenleistung, Filamentleistung, Impulsvorspannung |
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Prozessgassteuerung |
Masse-Durchflussmesser + elektromagnetisches Keramikventil |
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Vakuumkammer-Struktur |
Vertikale Tür zur seitlichen Öffnung, Postposition des Pumpensystems, doppelte Wasserkühlung | |||
Vakuumsystem |
Molekülpumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -5 Pa) Diffusionspumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -4 Pa) |
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Temperatur Werkstückauflauf |
Normale Temperatur bis 350 Grad PID-Regelung, Strahlungsheizung. | |||
Bewegungsmodus Werkstück |
Öffentliche Rotation Frequenzregelung: 0-20 Umdrehungen pro Minute |
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Messmodus |
Zahlenanzeige Composite-Vakuummeter: Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa |
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Steuerungsmodus |
Manuell/automatisch/PC/SPS + HMI/PC vier verschiedene Steuerungsmodi |
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Anmerkung |
Wir können die Abmessungen der Ausrüstung nach den speziellen technischen Anforderungen des Kunden entwerfen. |