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Modusbemaßung |
ZZ-1200 | ZZ-1400 | ZZ-1600 | ZZ-1800 |
| 1200*1400mm | 1400*1600mm | 1600*1800mm | 1800*2000mm | |
| Filmtyp | Halbschonender Film, nicht leitender Film, Gold, Silber, Rot, Blau, grün, lila, sieben Farben, etc. | |||
| Typ der Stromquelle | Thermische Verdampfungsleistung, Ionenbombardenleistung, HF-Leistung | |||
| Vakuumkammer-Struktur | Vertikale Doppel-/Einzeltür, horizontale Einzeltür, Postposition des Pumpensystems | |||
| Ultimatives Vakuum | 8,0*10 -4 Pa | |||
| Vakuumsystem | Diffusionspumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe +Haltepumpe | |||
| Pumpenzeit | Pumpe aus Atmosphäre auf 5,0 * 10 -2 , ca. 6 Minuten | |||
| Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation/Frequenzregelung | |||