Modus
Abmessungen |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1300 | JTL-1600 |
Φ900*1000mm | Φ1100*1000mm | Φ1300*1200 mm | Φ1600*1300 mm | |
Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
3 Lichtbogen + 2 Paar flache rechteckige Kathode | 6 Lichtbogen+2 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode | 6 Lichtbogen+4 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode | 8 Lichtbogen+8 Paar zylindrische Kathode+A Paar Ebene rechteckig Kathode |
Anwendung | Dekorative Metallbeschichtung | |||
Filmtypen | Metallfolien, dielektrische Filme, Verbundfolien, Reaktionsfilme, Muti-Schicht Funktionsfilme | |||
Stromversorgung | Elektrische Lichtbogen Stromversorgung, DC Magnetron Stromversorgung, MF Magnetron Stromversorgung. Pulse Bias Spannung Stromversorgung. Ionenquelle Stromversorgung. | |||
Prozessgassteuerung | Qualitäts-Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil | |||
Vakuumkammer-Struktur | Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems, doppelte Wasserkühlung | |||
Vakuumsystem | Molekülpumpe (Diffusionspumpe)+Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe (8,0*10 -4 Pa) | |||
Pumpgeschwindigkeit | Pumpzeit weniger als 15 Minuten, von atmosphärischem Druck zu 310 -3 Pa | |||
Temperatur Werkstückauflauf |
Normale Temperatur bis 350 Grad PID-Regelung, Strahlungsheizung. |
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Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation Frequenzregelung: 0-20 Umdrehungen pro Minute | |||
Messmodus | Zahlenanzeige Composite-Vakuummeter: Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa | |||
Steuerungsmodus | Vollautomatische Steuerung PC+PLC/PC+HMI | |||
Anmerkung |
Wir können die Dimension der Ausrüstung nach Kunden spezielle Technik Anforderung zu entwerfen.
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