Modus
Abmessungen |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
900*1000mm | 1100*1000mm | 1250*1100mm | |
Beschichtungsmodus und Hauptbestätigung |
Sechs Ziele mit mehreren Kreisbögen + ein Satz Spaltenziele + Ein Satz von Ebenen Rechteck Magnetron Sputterziele |
Sechs Multibogen-Ziele + ein Paar Zwillings-(MF-)Magnetron-Sputtern Ziele |
Zwölf Ziele mit mehreren Bögen + zwei Sätze von Magnetron mit Ebenen Rechtecken Sputterziele+ ein Paar Zwillings-(MF-)Magnetron-Sputterziele |
Stromversorgung | Elektrische Lichtbogenleistung, DC-Magnetronenleistung, MF-Magnetronleistung, Filamentleistung, Impulsleistung, Lineare ionisierte Quelle. | ||
Prozessgassteuerung | Qualitäts-Durchflussmesser + Elektromagnetismus Keramik Ventil | ||
Vakuumkammer-Struktur | Vertikale (seitliche) Tür, Postposition des Pumpensystems, doppelte Wasserkühlung | ||
Vakuumsystem |
Molekülpumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -5 Pa)
Diffusionspumpe +Roots-Pumpe +Mechanische Pumpe(5,0*10 -4 Pa) |
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Temperatur Werkstückauflauf |
Normale Temperatur bis 350 Grad PID-Regelung, Strahlungsheizung. |
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Bewegungsmodus Werkstück | Öffentliche Rotation Frequenzregelung: 0-20 Umdrehungen pro Minute | ||
Messmodus | Zahlenanzeige Composite-Vakuummeter: Von Atmosphäre bis 1,0*10 -5 Pa | ||
Steuerungsmodus | Manuell/automatisch/PC/SPS + HMI/PC vier verschiedene Steuerungsmodi | ||
Anmerkung | Wir können die Abmessungen der Ausrüstung nach den speziellen technischen Anforderungen des Kunden entwerfen. |